Азот трифториді (NF3) жоғары таза газ
Негізгі ақпарат
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Бұл қандай материал?
Азот үшфториді (NF3) - бөлме температурасында және атмосфералық қысымда түссіз және иіссіз газ. Оны қалыпты қысыммен сұйылтуға болады. NF3 қалыпты жағдайда тұрақты және тез ыдырамайды. Бірақ ол жоғары температура әсерінен немесе белгілі бір катализаторлардың қатысуымен ыдырауы мүмкін. NF3 атмосфераға шығарылған кезде жоғары жаһандық жылыну әлеуетіне (GWP) ие.
Бұл материалды қайда қолдануға болады?
Электроника өнеркәсібіндегі тазалау агенті: NF3 жартылай өткізгіштердің, плазмалық дисплей панельдерінің (PDP) және басқа электрондық компоненттердің беттерінен оксидтер сияқты қалдық ластаушы заттарды кетіруге арналған тазалау құралы ретінде кеңінен қолданылады. Ол бұл беттерді зақымдамай тиімді түрде тазалай алады.
Жартылай өткізгіштерді өндіруде қышқыл газы: NF3 жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде қышқыл газ ретінде пайдаланылады. Бұл интегралдық схемаларды жасауда қолданылатын кең таралған материалдар болып табылатын кремний диоксиді (SiO2) және кремний нитриді (Si3N4) қышқылды өңдеуде әсіресе тиімді.
Тазалығы жоғары фтор қосылыстарын өндіру: NF3 құрамында фтор бар әртүрлі қосылыстарды алу үшін фтордың бағалы көзі болып табылады. Ол фторполимерлер, фторкөміртектер және арнайы химиялық заттар өндірісінде прекурсор ретінде қолданылады.
Тегіс панельді дисплей өндірісінде плазманы өндіру: NF3 сұйық кристалды дисплейлер (СКД) және PDP сияқты жалпақ панельді дисплейлерді өндіруде плазманы жасау үшін басқа газдармен бірге қолданылады. Плазма панельдерді дайындау кезінде тұндыру және сызу процестерінде өте маңызды.
Осы материалды/өнімді пайдалануға арналған арнайы қолданбалар мен ережелер елге, салаға және мақсатқа байланысты әр түрлі болуы мүмкін екенін ескеріңіз. Осы материалды/өнімді кез келген қолданбада қолданбас бұрын әрқашан қауіпсіздік нұсқауларын орындаңыз және сарапшымен кеңесіңіз.
